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潔凈室如何升級改造?
發(fā)布者:翼展凈化工程公司瀏覽次數(shù):發(fā)布時間:2023-02-24
潔凈室升級改造的設(shè)計(jì)方案制定,雖然原則應(yīng)該說基本相同的,但是由于空氣潔凈度等級的提升.尤其是由非單向流潔凈室升級為單向流潔凈室或由 1S06級/1S05級潔凈室升級改造為 1S0 5級/Is04級/1s03級潔凈室時.無論是凈化空調(diào)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)量、潔凈室的平面和空間布置還是相關(guān)的潔凈技木措施等都有較大或很大的變化,因此潔凈室的升級改造除了前面己敘述的設(shè)計(jì)原則外還要考慮下述因素


①對潔凈室的升級改造,首先應(yīng)該結(jié)合具體工程實(shí)際情況制定的一個可能實(shí)現(xiàn)的改造方案

根據(jù)升級改造的目標(biāo)及相關(guān)技術(shù)要求和原有建設(shè)的現(xiàn)狀等,進(jìn)行認(rèn)真、翔實(shí)的多設(shè)計(jì)方緊的技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較。這里應(yīng)該特別指出的是此項(xiàng)比較不僅是改造的可能性和經(jīng)濟(jì)性,還應(yīng)包括升級改置后運(yùn)行費(fèi)用的比較,尤其應(yīng)注意能源消托費(fèi)用的比較。為完成此項(xiàng)任務(wù),業(yè)主應(yīng)委托有實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)、有相應(yīng)資質(zhì)的設(shè)計(jì)單位進(jìn)行調(diào)查、咨詢、規(guī)劃工作。



②潔凈室的升級改造宜優(yōu)先選用各種隔離技術(shù)、微環(huán)境技術(shù)或局部潔凈裝置或?qū)恿髡值燃夹g(shù)手段,對需要高級別空氣潔凈度等級的生產(chǎn)工序、設(shè)備采用微環(huán)境裝置等技術(shù)手段同較低級別空氣潔凈度等級的潔凈室分隔或?qū)⒄w潔凈室提高至可行的空氣潔凈度等級,而對要求很高級別空氣潔凈度等級的生產(chǎn)工序、設(shè)備采用微環(huán)境裝置等技術(shù)手段。


舉例ISO5潔凈室全面改道為 ISO4級和采用徽環(huán)境系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案的技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后,采用了微環(huán)境系統(tǒng)的升級改造方案,以較小的升級改造費(fèi)用達(dá)到了所需的空氣潔凈度等級要求,且能源消耗世較低:運(yùn)行后經(jīng)檢測每一徽環(huán)境裝置均達(dá)到了ISO4 級以上的綜合性能。據(jù)了解,近年來許多超大規(guī)模集成電路工廠在進(jìn)行吉凈室升級改造或新建廠房時,都將生產(chǎn)廠房按1S05級/IS06級單向流潔凈室進(jìn)行設(shè)計(jì)建造及披生產(chǎn)線各工序、設(shè)備的高級別潔凈度要求采用 SMIF 微環(huán)境系統(tǒng),達(dá)到了產(chǎn)品生產(chǎn)所秀的空氣潔凈度等級,既城少了投資費(fèi)用、降低了能源消耗,還有利于生產(chǎn)線的改造、擴(kuò)產(chǎn)要求,具有較好的靈活性。


③潔凈室升級改造時常常要增大凈化空調(diào)系統(tǒng)的儲環(huán)風(fēng)量,即增大潔凈室內(nèi)的換氣次數(shù)或平均風(fēng)速,由此必然需要調(diào)整或更換凈化空調(diào)裝置、增加高效風(fēng)口的數(shù)量、增大風(fēng)管尺才以及增大供冷(熱)能力等。在實(shí)際工作中,為了降低潔凈室開級改造的投資費(fèi)用.做到調(diào)整變動較小,解決的辦法只能是充分了解產(chǎn)品生產(chǎn)工藝情況和原有凈化空調(diào)系統(tǒng)的情況,合理劃分凈化空調(diào)系統(tǒng),盡可能利用原有的系統(tǒng)及其風(fēng)管,適當(dāng)增設(shè)必要的、改造工作量較少的凈化空調(diào)系統(tǒng)。

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