潔凈室（區(qū)）設備安裝要求
發(fā)布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數(shù)：發(fā)布時間：2022-07-27
在GB/T 25915.5/1S0 14644-5 中要求潔凈室內(nèi)固定設備的安裝，應根據(jù)潔凈室的設計和作用,下面具體重點介紹下一下情況
1.設備的安裝方法：理想的方法是在設備安裝期關(guān)閉潔凈室，并且有能滿足設備運進所福覽度的門或在瑞板上預留通 道，以讓新設備通過并進入潔凈室，為防止安裝期附近的潔凈室受到污染、應采取防護措施，以確保潔凈室仍符合其潔凈度要求所需的后續(xù)的工作。
2.若設各安裝期間潔凈室的工作不能停，或有結(jié)構(gòu)需要拆除，必須將正在運行的潔凈室與工作區(qū)進行有效隔離：可采用臨時隔離墻或隔斷圍擋。為不妨礙安裝工作，沒備周圍應的有足夠的空間。若條件許可，可通過服務通道或其他非關(guān)鍵區(qū) 進人隔離區(qū)：如不可能，應釆取措施盡量降低安裝工作所產(chǎn)生的污染影響。該隔離區(qū)應維持等壓或負壓。隔高區(qū)內(nèi)應切斷潔凈送風，避免對周圍的潔凈室形成正壓。如果只有通過相鄰的潔凈室才能進人隔離區(qū)，則應采用粘墊，去除鞋上攜帶的污物。
3.進人隔高區(qū)后，可使用一次性靴子或套鞋及連體工作服以免污染潔凈服。離開隔離區(qū)前應脫下這些一次性物品。應制定設備安裝過程對隔離區(qū)周圍區(qū)域監(jiān)測的方法并確定監(jiān)測頻度，確保檢測到可能泄漏至相鄰潔凈室的任何污染，隔離措施設置后可架設各種所需的公共服務設施，如電、水、氣體、真空、壓縮空氣和廢水管道，應注意盡可能控制并隔離作業(yè)產(chǎn)生的煙塵和渣屑，避免因疏忽擴散至周圍的潔凈室，還應便于拆除隔離屏障前進行有效的清潔。公用服務設施符合使用要求后，應按規(guī)定的清潔規(guī)程對整個隔離區(qū)清潔去污。包括全部的墻、（固定的和可移動的）設備及地面在內(nèi)的所有表面，都要進行真空清潔、擦拭和拖擦，并應特別注意清潔設備護板后面及設備下面的區(qū)城。
4.依據(jù)潔凈室和安裝設備實際狀況可進行設備性能的初步測試，但后面的驗收檢測應在完全具備潔凈環(huán)境條件時進行。根據(jù)安裝現(xiàn)場狀況可開始小心地拆除隔離墻；如已關(guān)閉潔凈送風，則將其重新啟動；應慎重選定進行這階段工作的時間，以盡量減少對潔凈室正常工作的千擾。此時可能需要測量空氣懸浮粒子濃度是否滿足規(guī)定要求
5. 設備內(nèi)部及關(guān)鍵的工藝腔室的清潔與準備工作，應在正常的潔凈室條件下進行。與產(chǎn)品接觸或與產(chǎn)品輸送有關(guān)的所有內(nèi)腔室及所有表面都要進行擦拭，使其達到要求的潔凈程度。設備的清潔順序應是從頂?shù)降?，如有粒子擴散，較大的粒子因重力將落到設備的底部或地面上。清潔設備的外表面，順序也是從頂?shù)降?。必要時，應對產(chǎn)品或生產(chǎn)工藝要求屬于關(guān)鍵性的區(qū)城，進行表面粒子檢測.
6.鑒于潔凈室的特點，尤其是高科技潔凈室大面積、高投人、高產(chǎn)出的特點和十分嚴格的潔凈度要求，在這類潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)工藝設備的安裝更加具有一般潔凈廠房沒有的特定要求。為此，在2015 年發(fā)布的國家標準《潔凈廠房施工及質(zhì)量驗收規(guī)范》（GIB 51110）中對潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)工藝設備的安裝作了一些規(guī)定，主要有以下內(nèi)容。
A.為了防止在生產(chǎn)工藝設備的安裝過程中給已進行“空態(tài)〞驗收的潔凈室（區(qū)）帶來污染甚至損壞，其設備的安裝過程不得有超范圍的振動、傾斜，不得劃份及污染設備表面。
B.為使?jié)崈羰遥▍^(qū)，內(nèi)生產(chǎn)工藝設備的安裝做到有序和無坐或少坐作業(yè)，并能遵循潔凈廠房內(nèi)的潔凈生產(chǎn)管理制度，做到在生產(chǎn)設備安裝過程保護好已經(jīng)按“空態(tài)”驗收的各項“成品”“半成品”，安裝過程所必須使用的材料、機具等不得散發(fā)或可能產(chǎn)生（長期地包括在潔凈室正常運行中）對所生產(chǎn)產(chǎn)品有害的污染物，應采用無塵、無銹、無油脂且在使用過程中不產(chǎn)塵的清潔材料。
C.應以潔凈、無塵的板材、薄膜等材料保護潔凈室（區(qū)）的建筑裝飾表面；設備墊板應按設計或設備技術(shù)文件要求制作，如無要求時應采用不銹鋼板或塑料板。獨立基礎(chǔ)和地板加固用碳鋼型材應經(jīng)防腐處理，表面應平整、光滑；用于嵌縫的彈性密封材
D.材料應注明成分、品種、出廠日期、儲存有效期和施工方法說明書及產(chǎn)品合格證書潔凈室（區(qū)）使用的機具不得搬至非潔凈室（區(qū)）使用，非潔凈室（區(qū)）使用的機具不得搬至潔凈室（區(qū)）使用，潔凈區(qū)使用的機具應做到機具外露部分不產(chǎn)塵或采取防止塵埃污染環(huán)境的措施，常用機具在搬人潔凈區(qū)前應在氣閘室進行清潔處理，應達到無油、無垢、無塵、無銹的要求，并應經(jīng)檢查合格貼上“潔凈”或“潔凈區(qū)專用”標識后搬人。
E.潔凈室（區(qū)）內(nèi)的生產(chǎn)工藝設備需安裝在活動地板等“特定地面”上的設備基礎(chǔ)一般應設置在下技術(shù)夾層地坪上或泥凝士多孔板上；安裝基礎(chǔ)所需拆除的活動地板，經(jīng)手持電鋸切割后的結(jié)構(gòu)應子加固，其承載能力不應低于原承載能力。當應用鋼制框架結(jié)構(gòu)的獨立基礎(chǔ)時，應選用鍍鋅材料或不銹鋼材料制作，外露表面應平整、光滑。
F.潔凈室（區(qū)）內(nèi)生產(chǎn)工藝設備的安裝過程需在墻板、吊頂和活動地板開洞時，其開洞作業(yè)不得劃份或污染需保留的墻板、吊 頂板表面，活動地板開口后不能及時安裝基礎(chǔ)時，應設安全護欄并設危險標識；生產(chǎn)設備安裝后，洞口四周間隙應進行密封處理，并應做到設備與密封組件為柔性接觸，密封組件與壁板的連接應緊密、牢固；工作間一側(cè)的密封面應平整、光滑。
